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公司:南京高謙功能材料科技有限公司
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半導體芯片用超高純氫氣純化器
由于半導體芯片的CVD、ALD及高溫退火等生產(chǎn)工藝都需要超高純度的氫氣,無法儲運, 半導體芯片用超高純氫氣純化器可現(xiàn)場提供純度為8N ?12 N的氫氣。
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